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真空膜层常用靶材

发布时间:2019-02-22浏览次数:3

真空膜层常用靶材

彩色系膜层和常规色膜层最大的区别就是C值和H值,所以可以说,黑色也是彩色系膜层。


锆+氮气:黄绿调金黄色

锆+甲烷:深浅黑色

锆+氧气:白色、透明膜

锆+氮气+甲烷:金色、仿玫瑰金


铬+甲烷:深浅黑色

铬+氮气:浅黑色

铬+氮气+甲烷:银灰色

铬+氧气:轻黄色、紫色、绿色


SUS+氧气:紫色

SUS+氮气:蓝色

SUS+甲烷:亮黑色

SUS+甲烷+氮气:蓝黑色


硅+氮气:黑色

硅+氧气:混浊白、透明膜

硅+甲烷:黄色、绿色、蓝色、黑色(靶材纯度高于99%仅能调黑色)


钛+氧气:光学膜七彩截色,不多介绍都懂。

钛+甲烷:深浅黑色( DLC制备不能达标)

钛+氮气:仿金色、黄铜色、紫色、红色

钛+氮气+甲烷:仿玫瑰金、黑绿色、复古黄、棕色、紫色


钨+氮气:棕黄色

钨+甲烷:深浅黑色

钨+氧气:紫色,鲜黄色,棕色,蓝色


以上仅装饰薄膜常用材料及其常用气体,通常甲烷和乙炔都可互替,但涉及部分颜色甲烷效果更好。除以上常用材料外,

金属靶材还有镍、铝、钽、铪、锰、铜、锌、铟、锡、等,均有在镀膜中使用。多质靶材如钛铝、铬铝、钛锆、铜锰、镍铬、硅铝、钒铼、钨钼等等。