磁性材料镀膜设备
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产品简介
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适用于磁性材料表面防腐涂层的制备，通过磁控溅射、蒸发、电弧、离子轰击等、在基材表面快速镀制铝/合金、钛、铬等金属薄膜，具有防腐性能高、膜层结合力好、生产过程无任何污染、避免电镀液的残留导致产品不良等特点。
优点优势
工艺技术支持；
提高耐腐性；
高生产率；
技术指标
| 设备型号 | SP-1212AS | SP-1512AS | SP-1912AS | SP-1515AS |
| 真空室尺寸（mm） | 1200×1200 | 1500×1200 | 1900×1200 | 1500×1500 |
| 极限真空 | 6.0E-4Pa | |||
| 抽气时间 | 空载大气至5.0E-3Pa小于15分钟 | |||
| 压升率 | 1h≤0.5Pa | |||
| 真空泵组 | 机械泵+罗茨泵+扩散泵/分子泵/深冷系统+维持泵 | |||
| 加热系统 | 常温至300℃可调可控（PID控温） | |||
| 加气系统 | 质量流量控制仪（1-4路） | |||
| 靶结构 | 圆弧靶、柱状溅射靶、条形离子源 | |||
| 电源类型 | 直流溅射电源、弧电源、高压轰击偏压电源、离子源电源等 | |||
| 工件旋转方式 | 公转+自转 变频可控可调1-5转/分 | |||
| 控制方式 | 手动+半自动+全自动一体化+PLC+IPC | |||
| 备注 | 设备各配置指标可按客户产品及特殊工艺要求定制。 | |||
应用领域
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