产品简介
结构件涂层镀膜设备,采用物理气相沉积技术(PVD),将固体材料源表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体或等离子体,在基材表面沉积具有特殊功能的薄膜技术。PVD技术广泛应用与航空航天、轻工、材料等领域。可制备具有耐磨、耐腐蚀、导电、绝缘、润滑等特性的膜层。
优点优势
可根据产品结构进行仿形扫描制备涂层; 膜层均匀致密; 结合力优异
技术指标
设备型号 | SP-2020ASI | SP-2030SI | SP-2540SI | SP-3050SI |
炉体尺寸(mm) | 2000×2000 | 2000×3000 | 2500×4000 | 3000×5000 |
极限真空 | 5.0E-4Pa | |||
抽气时间 | 空载大气至5.0E-3Pa小于30分钟 | |||
压升率 | 1h≤0.5Pa | |||
真空泵组 | 机械泵+罗茨泵+扩散泵/分子泵 | |||
加热系统 | 仿形加热器,常温至300℃可调可控(PID控温) | |||
加气系统 | 质量流量控制仪(1-8路) | |||
靶结构 | 平面靶、圆柱旋转靶、圆弧靶、离子源 | |||
电源类型 | 中频电源、直流电源、弧电源、离子电源 | |||
工件旋转方式 | 与靶联动仿形运动/旋转运动 | |||
控制方式 | 手动+半自动+全自动一体化+PLC+IPC | |||
备注 | 设备各配置指标可按客户产品及特殊工艺要求定制。 |
应用领域