透明件涂层镀膜设备
产品简介
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适用于有机玻璃、无机玻璃表面涂层的制备，在基材表面镀制ITO薄膜和增透膜，具有良好的导电性和透光率。设备可搭载直流电源、中频电源、射频电源、离子电源、Hipims等系统，根据用户的工艺应用作定制化的搭配，以满足不同用户的需求。由于有机玻璃的耐热性较差，因此，需要配备专门的加热系统，如红外加热器或热辐射加热器，通过控制系统对温度进行精准控制。
优点优势
优异的膜层均匀性；
根据产品结构进行仿形运动；
膜层性能精准可控
技术指标
| 设备型号 | SP-1000SI | SP-1200SI | SP-1500SI | SP-1800SI |
| 产品尺寸（mm） | 1000×1000 | 1200×1200 | 1500×1500 | 1800×1800 |
| 极限真空 | 5.0E-4Pa | |||
| 抽气时间 | 空载大气至5.0E-3Pa小于20分钟 | |||
| 压升率 | 1h≤0.5Pa | |||
| 真空泵组 | 干式螺杆泵+无油罗茨泵+磁悬浮分子泵 | |||
| 加热系统 | 红外加热器，分区控温。常温至400℃可控可调 | |||
| 加气系统 | 质量流量控制仪（1-6路） | |||
| 靶结构 | 平面靶、圆柱旋转靶 | |||
| 电源类型 | 中频电源、直流电源、射频电源、离子电源、Hipims | |||
| 工件旋转方式 | 与靶联动仿形运动/往复摆动/旋转运动 | |||
| 控制方式 | 手动+半自动+全自动一体化+PLC+IPC | |||
| 备注 | 设备各配置指标可按客户产品及特殊工艺要求定制。 | |||
应用领域
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