高分子薄膜卷绕式双面铜箔真空镀膜设备,采用真空气相沉积技术,设备能够一次性镀制双面30mΩ铜箔涂层,同时兼顾高速镀制双面500mΩ铜箔涂层;同时可支持多种复合涂层制备,单一制程内能够在铜膜表面进一步覆盖保护或增强功能性涂层。
双面一次性镀制导电涂层,形成“金属导电层-高分子支撑层-金属导电层”三明治复合结构涂层;可快速镀制30mΩ铜箔涂层;无需后续电镀方式辅助沉积,避免生产环保问题;采用专有高能清洗活化技术,提升金属层与高分子层间结合力;在同等单面方阻指标下,我司产品节省70%铜箔厚度,大幅降低电池自重。
优点优势
一次成膜; 铜箔涂层电阻低于30mΩ; 环保无污染;
技术指标
设备型号 | SP-650SI | SP-1300SI | SP-1650ASI |
镀膜尺寸(mm) | 650 | 1300 | 1650 |
极限真空 | 6.0E-4Pa | ||
压升率 | 1h≤0.5Pa | ||
真空泵组 | 机械泵+罗茨泵+分子泵/低温捕集泵+维持泵 | ||
加热系统 | 常温至300℃可调可控(PID控温) | ||
加气系统 | 质量流量控制仪 | ||
基材 | PET等柔性基材 | ||
方阻 | 30-500mΩ | ||
靶结构 | 溅射靶、高压清洗源等 | ||
电源类型 | 高压清洗电源、溅射电源等 | ||
工件旋转方式 | 多辊双面复合 | ||
控制方式 | 手动+半自动+全自动一体化+PLC+IPC | ||
备注 | 设备各配置指标可按客户产品及特殊工艺要求定制。 |
应用领域