卧式连续线
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我司自2007年起连续镀膜生产线投放市场，针对各个行业、产品结构、涂层性能等不同需求针对性推出多款机型，并根据产品所需性能特点进行详细分类设计、建造，使装备行成标准化机型。
它承载着PVD镀膜工业未来发展使命，经过近十几年的发展设备已达到全自动化、标准化生产状态，正向智能化生产车间发展迈进，有效提高产品品质、降低生产成本，节能减排，使企业提高产品核心竞争力。
优点优势
灵活配置以满足特定的生产需求；
采用闭环控制器提高涂层均匀性；
无缝对接式运行，提高生产率；
优化的磁性配置，具有出色的均匀性和利用率；
技术指标
设备型号 | SP-0610AS | SP-1316AS | SP-2616AS | SP-3020AS |
真空室尺寸（mm） | 600×1000 | 1300×1600 | 2600×1600 | 3000×2000 |
极限真空 | 6.0E-4Pa | |||
抽气时间 | 空载大气至5.0E-3Pa小于20分钟 | |||
压升率 | 1h≤0.5Pa | |||
真空泵组 | 机械泵+罗茨泵+分子泵/深冷系统+维持泵 | |||
加热系统 | 常温至300℃可调可控（PID控温） | |||
加气系统 | 质量流量控制仪（1-6路） | |||
靶结构 | 弧靶、柱状溅射靶、平面溅射靶、条形离子源 | |||
电源类型 | 弧电源、直流溅射电源、中频溅射、高压轰击偏压电源、射频电源等 | |||
工件运行方式 | 卧式线性运行 | |||
控制方式 | 手动+半自动+全自动一体化+PLC+IPC | |||
备注 | 设备各配置指标可按客户产品及特殊工艺要求定制 | |||
应用领域
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