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卧式连续线

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画板 1 拷贝 21.png 产品简介

品牌(2).png 我司自2007年起连续镀膜生产线投放市场,针对各个行业、产品结构、涂层性能等不同需求针对性推出多款机型,并根据产品所需性能特点进行详细分类设计、建造,使装备行成标准化机型。
它承载着PVD镀膜工业未来发展使命,经过近十几年的发展设备已达到全自动化、标准化生产状态,正向智能化生产车间发展迈进,有效提高产品品质、降低生产成本,节能减排,使企业提高产品核心竞争力。


画板 1 拷贝 20.png 优点优势


 1.png 灵活配置以满足特定的生产需求2.png 采用闭环控制器提高涂层均匀性3.png 无缝对接式运行,提高生产率4.png 优化的磁性配置,具有出色的均匀性和利用率


画板 1 拷贝 22.png 技术指标



设备型号

SP-0610AS

SP-1316AS

SP-2616AS

SP-3020AS

真空室尺寸(mm)

600×1000

1300×1600

2600×1600

3000×2000

极限真空

6.0E-4Pa

抽气时间

空载大气至5.0E-3Pa小于20分钟

压升率

1h≤0.5Pa

真空泵组

机械泵+罗茨泵+分子泵/深冷系统+维持泵

加热系统

常温至300℃可调可控(PID控温)

加气系统

质量流量控制仪(1-6路)

靶结构

弧靶、柱状溅射靶、平面溅射靶、条形离子源

电源类型

弧电源、直流溅射电源、中频溅射、高压轰击偏压电源、射频电源等

工件运行方式

卧式线性运行

控制方式

手动+半自动+全自动一体化+PLC+IPC

备注

设备各配置指标可按客户产品及特殊工艺要求定制



画板 1 拷贝 23.png 应用领域