立式连续线
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产品简介
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联体镀膜设备是实力源推出的真空镀膜量产解决方案。连续式镀膜可以使镀膜室不会暴露于大气，保证了镀膜工艺稳定的同时也节省了抽气时间，生产效率倍增。联体设备通过真空机组的简化和优化配置，镀制同等数量产品联体设备能耗约为单体设备能耗的60%，有效的节约能源，给企业降低成本，设备投资回收期大幅缩短。
优点优势
灵活配置以满足特定的生产需求；
采用闭环控制器提高涂层均匀性；
无缝对接式运行，提高生产率；
优化的磁性配置，具有出色的均匀性和利用率；
技术指标
| 设备型号 | SP-1006AS-L | SP-1316AS-L | SP-1885AS-L | SP-1912ASI-L |
| 真空室尺寸（mm） | 1000×600 | 1300×1600 | 1800×850 | 1900×1200 |
| 极限真空 | 6.0E-4Pa | |||
| 抽气时间 | 空载大气至5.0E-3Pa小于15分钟 | |||
| 压升率 | 1h≤0.5Pa | |||
| 真空泵组 | 机械泵+罗茨泵+分子泵+维持泵 | |||
| 加热系统 | 常温至300℃可调可控（PID控温） | |||
| 加气系统 | 质量流量控制仪（1-8路） | |||
| 靶结构 | 多弧靶、溅射靶、射频吧、离子源等 | |||
| 电源类型 | 偏压电源、弧电源、直流溅射电源、中频溅射电源、射频电源、HiPIMS电源等 | |||
| 工件运行方式 | 立式公自转、线性或往复式运行 变频无极调速 | |||
| 控制方式 | 手动+半自动+全自动一体化+PLC+IPC | |||
| 备注 | 设备各配置指标可按客户产品及特殊工艺要求定 | |||
应用领域
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