电弧蒸发电源
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产品特点：智能自动引弧、稳弧电流小、控制方便，节能省电。
电源配置：1、标准配置：电源1台；2、选装配置：3米输入电源线一根，3米控制电缆一根，远控开关,远控盒控制；
优点优势
靶源、离子源多维变化，改进多边膜层均匀性和结合力；
采用闭环控制器提高涂层均匀性；
无缝对接式运行，提高生产率；
技术指标
| 型号 | SP5A150 | SP5A200 | SP15-TAC-500 |
| 功率 | 5KW | 6KW | 15KW |
| 工作电流 | 30-150A | 50-200A | 50-500A |
| 空载电压 | 70V | 70V | 70V |
| 工作电压 | 16-30V | 20-30V | 20-30V |
| 电源尺寸 | 450×205×290 | 450×260×400 | 335×585×735 |
| 冷却方式 | 风冷 | 风冷 | 风冷 |
| 类型 | 常规 | 常规 | 常规 |
| 订制 | 非标电源可订制 | ||
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中频交流磁控溅射电源
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