中频交流磁控溅射电源
.jpg "中频电源4444(1).jpg")
产品简介 .png "品牌(2).png"){kind=small}
产品特点：中频交流磁控溅射电源能在充分满足电源工作的基础上实现合理而快速的灭弧功能；具备完善的欠压、过压、过载和过热等保护及显示功能；该电源支持双靶工作，可溅射非导电靶材，增加离化率有效克服靶中毒及异常放电。
电源配置：1、标准配置：电源1台；2、选装配置：3米输入电源线一根，互锁保护装置一组；
优点优势
靶源、离子源多维变化，改进多边膜层均匀性和结合力；
采用闭环控制器提高涂层均匀性；
无缝对接式运行，提高生产率；
技术指标
型号 | SP20MB815 | SP30MB830 | SP40MB845 | SP108MB1014 |
功率 | 20KW | 30KW | 40KW | 108KW |
空载电压 | 1000V | 1000V | 1000V | 1500V |
工作电压 | 80-800V | 80-800V | 80-800V | 100-1000V |
工作电流 | 15A | 30A | 45A | 144A |
频率 | 40kHz | 40kHz | 40kHz | 40kHz |
电源尺寸 | 610×480×280 | 610×480×280 | 750×480×310 | 800×600×1800 |
冷却方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | 水冷 |
类型 | 常规 | 常规 | 常规 | 常规 |
订制 | 非标电源可订制 | |||
