直流磁控溅射电源
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产品特点：高频逆变输出方式，与溅射靶匹配良好。
电源配置：1、标准配置：电源1台；2、选装配置：3米输入电源线一根，互锁保护装置一组；
优点优势
靶源、离子源多维变化，改进多边膜层均匀性和结合力；
采用闭环控制器提高涂层均匀性；
无缝对接式运行，提高生产率；
技术指标
型号 | SP3M5 | SP6M10 | SP20M30 | SP30M45 |
功率 | 3KW | 6KW | 20KW | 30KW |
空载电压 | 1200V | 1200V | 1200V | 1200V |
工作电压 | 200-600V | 200-600V | 200-600V | 200-600V |
工作电流 | 5A | 10A | 30A | 45A |
电源尺寸 | 610×480×280 | 610×480×281 | 610×480×282 | 610×480×283 |
冷却方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | 水冷 |
类型 | 常规 | 常规 | 常规 | 常规 |
订制 | 非标电源可订制 | |||
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