单极脉冲偏压电源
产品简介 .png "品牌(2).png"){kind=small}
产品特点：高频逆变方式，使用工艺范围宽，能有效改善膜层质量，降低温升，细化颗粒，增加附着力，提高沉积速率改善膜层均匀性。
电源配置：1、标准配置：电源1台 3米输入电源线一根；2、选装配置：互锁保护装置一组；
优点优势
靶源、离子源多维变化，改进多边膜层均匀性和结合力；
采用闭环控制器提高涂层均匀性；
无缝对接式运行，提高生产率；
技术指标
型号 | SP6U1520 | SP12U1540 | SP20U1570 | SP30U15100 |
功率 | 6KW | 12KW | 20KW | 30KW |
空载电压 | 1000V | 1500V | 1500V | 1500V |
工作电流 | A：50-300V 20A | A：50-300V 40A | A：50-300V 70A | A：50-300V 100A |
占空比 | 5%-90% | 5%-90% | 5%-90% | 5%-90% |
频率 | 40kHz | 40kHz | 40kHz | 40kHz |
电源尺寸 | 580×440×190 | 580×440×190 | 580×440×190 | 580×440×190 |
冷却方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | 水冷 |
类型 | 常规 | 常规 | 常规 | 常规 |
订制 | 非标电源可定制 | |||
