DLC涂层镀膜设备
.jpg "DLC涂层镀膜设备")
产品简介
.png "品牌(2).png"){kind=small}
DLC（类金刚石涂层）涂层设备广泛应用于发动机零部件，有色金属切削工具、滑动密封部件、纺织行业等工业领域。
该系列设备适用于多种DLC涂层，可根据客户需求搭载过滤弧离子镀、非平衡磁控溅射、HiPIMS、PE-CVD等组合配置。
本公司开发的“中间层技术”DLC膜通过着力于中间层，从而实现良好的附着性、耐磨性、高硬度、低摩擦系数、低表面粗糙度，使 DLC涂层得到更优越的性能，一举攻破低温成膜技术的瓶颈，使得DLC涂层可在更多领域发展。
适用于汽车零部件制造、机械零件、模具、轴承、冲拉模、模具等。
优点优势
低摩擦系数；
优异的附着力；
低温成膜技术；
技术指标
设备型号 | SP-0506AI | SP-0810AI | SP-0910ASI | SP-1112AI |
负载直径（mm） | 350 | 600 | 650 | 900 |
负载高度（mm） | 420 | 750 | 800 | 1000 |
极限真空 | 6.0E-5Pa | |||
抽气时间 | 空载大气至5.0E-3Pa小于20分钟 | |||
压升率 | 1h≤0.5Pa | |||
真空泵组 | 机械泵+罗茨泵+分子泵+维持泵 | |||
加热系统 | 常温至550℃可调可控（PID控温） | |||
加气系统 | 质量流量控制仪（1-4路） | |||
靶结构 | 圆弧靶、Cloud弧、溅射靶、条形离子源 | |||
电源类型 | 弧电源、高压轰击偏压电源、HiPIMS溅射电源、离子源电源、SPA电源等 | |||
工件旋转方式 | 公自转+二次自转 变频可控可调1-5转/分 | |||
最大载重量 | 250KG | 500KG | 500KG | 1200KG |
控制方式 | 手动+半自动+全自动一体化+PLC+IPC | |||
备注 | 设备各配置指标可按客户产品及特殊工艺要求定制。 | |||
应用领域
.jpg)
.jpg)
.jpg)
.jpg)
