大尺寸多曲面镀膜机
产品简介
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适用于有机玻璃、无机玻璃表面涂层的制备，在基材表面镀制ITO薄膜和增透膜，具有良好的导电性和透光率。设备可搭载直流电源、中频电源、射频电源、离子电源、Hipims等系统，根据用户的工艺应用作定制化的搭配，以满足不同用户的需求。由于有机玻璃的耐热性较差，因此，需要配备专门的加热系统，如红外加热器或热辐射加热器，通过控制系统对温度进行精准控制。
制造标准 ：设备经过ISO9001国际质量体系认证及CE认证，设备所有零、部件和各种仪表的计量单位全部采用国标或国际单位（SI）标准。
优点优势
优异的膜层均匀性；
根据产品结构进行仿形运动；
膜层性能精准可控
技术指标
| 设备型号 | SP-2112SI | |||
| 真空室尺寸（mm） | 13000×2800×3100 | |||
| 产品尺寸（mm） | 支持可镀工件最大宽度：1300mm；最大长度：3500mm；最大拱高：800mm（可根据客户要求定制） | |||
| 极限真空 | 5.0E-4Pa（空载情况下12小时内达到） | |||
| 抽气时间 | 空载大气至8.0E-3Pa（空载情况下2小时内达到） | |||
| 镀膜工作压力（Pa） | 0.1Pa～1Pa数量级 | |||
| 压升率 | 1h≤0.4Pa | |||
| 涂层均匀性 | 导电膜膜层面电阻差异≤±10%（根据工艺要求6~500nm） | |||
| 真空泵组 | 干式螺杆泵+无油罗茨泵+磁悬浮分子泵+低温捕集器 | |||
| 加热系统 | 工件表面温度 ：常温~ 100℃（可调）；加热时间 ≤ 60min；加热均匀性 ≤ ±3℃（工件镀膜有效范围内，表面实际温度） | |||
| 加气系统 | 质量流量控制仪（1-6路） | |||
| 离子源/靶源 | 离子源轰击，大曲率仿形靶磁控溅射，支持内外表面镀膜（内外阴极数量可根据客户要求选，配各2~4支） | |||
| 电源类型 | 中频溅射电源、脉冲直流电源、射频电源、离子电源、Hipims | |||
| 工件旋转方式 | 与靶联动仿形运动/往复摆动/旋转运动 | |||
| 控制方式 | 手动+半自动+全自动一体化+PLC+IPC | |||
| 备注 | 在PMMA基材上低温磁控溅射ITO附着力达到1级以上，电阻阻值30欧姆，透光度80%以上。 | |||
应用领域
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