MiniMicro-LED显示镀膜设备
产品简介
.png "品牌(2).png"){kind=small}
玻璃基板/显示面板PVD镀膜生产线，通过PVD镀膜技术，让玻璃基板实现多面镀铜。
优点优势
灵活配置以满足特定的生产需求；
采用闭环控制器提高涂层均匀性；
无缝对接式运行，提高生产率；
优化的磁性配置，具有出色的均匀性和利用率
技术指标
| 设备型号 | SP-0606SI-LH | SP-1112S-LH |
| 真空室尺寸（mm） | 9000×700 | 15000×1100 |
| 极限真空 | 3.0E-4Pa | |
| 压升率 | 1h≤0.4Pa | |
| 真空机组 | 机械泵+罗茨泵+分子泵+低温泵 | |
| 加热系统 | 常温-300℃ | |
| 加气系统 | 质量流量计精密控制 | |
| 溅射靶 | 旋转阴极、平面溅射靶、多边溅射靶 | |
| 电源类型 | 直流溅射电源、离子电源 | |
| 工件运行方式 | 步进（一次通过）、伺服器无级调速 | |
| 控制方式 | 手动+半自动+全自动一体化+PLC+IPC | |
| 远程对接 | MES | |
| 外部配套 | 自动上下料装置 | |
应用领域
.png)
.png)
.png)
