真空室尺寸（MM）

1000×1000

1200×1200

1600×1800

2000×1800

膜层颜色 

钛金色、香槟金、淡青铜、锆金、玫瑰金、玫瑰红、古铜、红铜、灰黑、枪黑、紫金、深褐色、宝石蓝、茶色、炫彩、不锈钢本色、咖啡色、紫红、紫罗兰、草绿等

极限真空

6.0E-4Pa

抽气时间

空载大气至5.0E-3Pa小于15分钟

压升率

1h≤0.5Pa

真空泵组

机械泵+罗茨泵+扩散泵/分子泵/深冷系统+维持泵

加热系统

常温至300℃可调可控（PID控温），不锈钢加热管加热

加气系统

质量流量控制仪（1-4路）

靶结构

圆弧靶、柱弧靶或平面靶、中频孪生柱靶、条形离子源

电源类型

中频溅射电源、弧电源、高压轰击偏压电源、直流溅射电源、离子源电源等

工件旋转方式

公转+自转 变频可控可调1-5转/分

控制方式

手动+半自动+全自动一体化+PLC+IPC

备注

设备各配置指标可按客户产品及特殊工艺要求定制。